受賞情報

2024年3月14日に行われた精密工学会春季大会学術講演会にて，本研究のM2の学生一名がベストプレゼンテーション賞を受賞しました．

題目：

次世代CMPプロセス制御を実現するMRRオブザーバの開発とその実験実証，JSPE2024，平野航大，鈴木教和