2023年10月31日~11月2日に金沢東急ホテルで開催された， ICPT 2023 (International Conference on Planarization/CMP Technology)におけるポスターセッションで本研究室のM1の学生1名が発表を行いました．
発表タイトル：Simulation of CMP abrasive behavior considering pad surface topography
国際学会発表情報
2023年10月31日~11月2日に金沢東急ホテルで開催された， ICPT 2023 (International Conference on Planarization/CMP Technology)におけるポスターセッションで本研究室のM1の学生1名が発表を行いました．
発表タイトル：Simulation of CMP abrasive behavior considering pad surface topography